Ловушки на впуске вакуумных насосов задерживают побочные продукты осаждения
16-11-2020 Pumps Today 5

Компания Mass-Vac Inc. (Северная Биллерика, штат Массачусетс, США) предлагает широкий выбор специальных входных ловушек для вакуумных насосов для производственных и исследовательских процессов, в которых используется атомно-слоевое осаждение, химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении, плазменно-химическое осаждение из газовой фазы и другие процессы, связанные с осаждением.

Ловушки из нержавеющей стали выпускаются в нескольких размерах и регулируются в соответствии с требованиями заказчика для защиты вакуумных насосов от тяжелых частиц побочных продуктов атомно-слоевого осаждения, химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении, плазменно-химического осаждения из газовой фазы и других процессов, связанных с осаждением. Они идеально подходят для исследовательских лабораторий, изготовления полупроводников и промышленных покрытий и позволяют улавливать до 2500 дюйм3 твердых частиц.

Пользователи могут выбрать сетку из нержавеющей стали, меди или полипропилена с размером отверстий 2, 5 или 20 микрон; абсорбент Sodasorb; активированный глинозем; активированный уголь и фильтрующую среду для молекулярной фильтрации. Ловушка PosiTrap диаметром 8 дюймов идеально подходит для исследовательских лабораторий, а ловушку MultiTrap диаметром 12 дюймов, оснащенную съемным отделителем первой ступени и двумя ступенями фильтрации, можно установить таким образом, чтобы обеспечить четырехступенчатую фильтрацию.

Фильтрующие элементы продаются отдельно.

Компания Mass-Vac Inc.

тел. 800-868-6700

www.massvac.com